ក្រុមហ៊ុនផលិតល្អ SILANE (A1160) 3-UREIDOPROPYLTRIETHOXYSILANE ដំណោះស្រាយ 50% ក្នុងមេតាណុល CAS: 7803-62-5
កម្មវិធី
ស៊ីឡាន SiH4 គឺជាឧស្ម័នគ្មានពណ៌ ដែលងាយឆេះដោយឯកឯងនៅក្នុងខ្យល់ ហើយរលួយយឺតៗដោយទឹក។ នៅក្នុងវត្តមាននៃអាល់កាឡាំងក្នុងទឹក វាត្រូវបានរំលាយទាំងស្រុងដើម្បីបង្កើតជាអ៊ីដ្រូសែន និងស៊ីលីត។ វាត្រូវបានផលិតក្នុងទ្រង់ទ្រាយពាណិជ្ជកម្ម និងលក់ជាឧស្ម័នដែលបានបង្ហាប់ក្នុងស៊ីឡាំង។ ស៊ីឡាន សុទ្ធ ឬដូប៉ាត ត្រូវបានប្រើដើម្បីរៀបចំស៊ីលីកុនពាក់កណ្តាលចរន្តដោយការរលួយដោយកម្ដៅនៅ >600°C។ ដូប៉ាតឧស្ម័នដូចជា germane, arsine ឬ diborane អាចត្រូវបានបន្ថែមទៅក្នុងស៊ីឡាននៅកំហាប់ទាបបំផុតនៅក្នុងការលូតលាស់ epitaxial នៃស៊ីលីកុនពាក់កណ្តាលចរន្តសម្រាប់ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច។ ស៊ីឡានខ្ពស់ជាង ឧទាហរណ៍ Si2H6 និង Si3H8 ត្រូវបានគេស្គាល់ ប៉ុន្តែមានស្ថេរភាពតិចជាង SiH4។ ទាំងនេះគឺជាអាណាឡូកនៃអ៊ីដ្រូកាបូនឆ្អែតទាប។
2. ប្រភពនៃស៊ីលីកុនបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។
៣. វាត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការបន្ថែមសារធាតុដូបលើឧបករណ៍សភាពរឹង និងសម្រាប់រៀបចំស៊ីលីកុនស៊ីមីកុងដង់សម្រាប់ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក។
លក្ខណៈបច្ចេកទេស
| បរិវេណ | លក្ខណៈបច្ចេកទេស |
| រូបរាង | រាវថ្លាគ្មានពណ៌ទៅលឿងស្រាល |
| ដង់ស៊ីតេ (20℃) ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប | ០,៩២០ ± ០,០១ |
| ប្រតិកម្មចំណាំងបែរ (n25D) | ១.៣៩០០ ± ០.០០៥ |
| ភាពស្អិត (CPS) | ៤.០-៦.០ |
| ផេះ | ១១.០% -១៣.០% |
ការវេចខ្ចប់
១៨០គីឡូក្រាម/ធុង
ការផ្ទុកគួរតែនៅកន្លែងត្រជាក់ស្ងួត និងមានខ្យល់ចេញចូល។














